Nanotecnologias, Micro e Nano Fabricação

Objetivos

-Importancia da nanotecnologia;

-Relação entre redução do tamanho e modificação das propriedades físicas;

-Técnicas de micro e nano fabricação;

-Aplicações de nanomateriais e dispositivos;

-Saber responder a questões qualitativas e quantitativas sobre salas limpas e técnicas de micro e nanofabricação;

-Efetuar a conceção e planeamento de experiências e projetos;

-Conduzir pesquisas de literatura, incluindo análise crítica de artigos, expressão oral e escrita;

-Desenvolver mini-projectos bem definidos.

Competências Principais:

-Aplicar conhecimentos de matemática, ciências e engenharia;

-Conceção, condução de experiências, análise e interpretação de dados;

-Trabalhar em equipas multidisciplinares;

-Identificar, formular e resolver problemas de engenharia;

-Identificar processos ou sistemas materiais para atingir determinadas especificações;

-Desenvolver aptidões de apresentação e comunicação.

Programa

TP

1. Introdução

2. Técnicas de deposição de filmes finos: PLD, IBD, Sputtering, Evaporação, CVD, ALD.

3. Micro/nanofabricação: litografia otica, por electrões, iões e raios-X; Técnicas de erosão (molhadas ne secas).

4. Propriedades Físicas I: MEMS, NEMS, dispositivos e aplicações.

5. Propriedades Físicas II: elétricas e óticas, poços/fios/pontos quânticos, efeitos de confinamento.

PL

1. Caraterísticas gerais e especificações de salas limpas.

2. Fabricação de filmes finos por técnicas de evaporação.

3. Microlitografia: produção de máscaras por escrita direta a laser.

4. Técnicas de caraterização: ótica e perfilometria.

5. Fabricação de um microdispositivo funcional